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海德堡Heidelberg 高級大型2D,,3D直寫光刻機(jī)DWL 8000
大面積瞄寫系統(tǒng):DWL 8000
搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中,,也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列,是針對微光學(xué)領(lǐng)域的2維和3維的微構(gòu)造形式所制作,。
對于激光圖形生成器,,MEMS,Displays 和sensors 都有加寬,,加高的設(shè)計,。DWL 8000精確的溫度控制,動態(tài)的焦點追蹤,,closed loop位置決定,,確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。
DWL 8000多年的經(jīng)驗累積,,使Gray Scale曝光技術(shù),,可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術(shù)掩模板上,,使用曝光強(qiáng)度經(jīng)過調(diào)整的激光,,可在連續(xù)表面上形成1個復(fù)雜的3維樣式。
主要功能:
,。*小描繪尺寸:0.7um
,。*小直寫尺寸:20nm
,。5種描繪模式
??赊D(zhuǎn)換成自動描繪模式
,。進(jìn)階3維繪畫方式
。里測/校直用照相機(jī)系統(tǒng)
,。選擇線上(Online)傳送繪畫數(shù)據(jù)
,。自動基板加載系統(tǒng)
。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式(DXF,,CIF,,GDSLL,Gerber,,STL)
,。Stage Map補(bǔ)正
。Edge detectof unit
應(yīng)用范圍:
,。Micro-optics
,。MEMS
。Display
,。Micro-sensor
暫無數(shù)據(jù),!