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URE-2000S/25 型紫外雙面光刻機
技術參數(shù)
。曝光面積：4 英寸
,。曝光波長：365nm： 40mW/cm,，405nm：20-45mW/cm2
。分辨力：1μm
,。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準,，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像,，光學**倍數(shù) 400 倍,，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍
目鏡三對：4 倍,、10 倍、20 倍
。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
,。對準精度：±2μm（雙面，片厚 0.8mm）,，±0.6μm（單面）
,。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸,、5 英寸
,。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸,、4 英寸
厚度 0.1mm--2mm(雙面)
,。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф 100mm 范圍）16
,。掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
,。汞燈功率：350W（直流，進口）
,。調平接觸壓力通過傳感器保證重復
,。數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口
,。**膠厚：350 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
,。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭
,。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
,。XYZ 汞燈調節(jié)臺
,。冷卻風扇
。光學系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡鏡 1,、準直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
,。掩模樣片相對運動臺
,。轉動臺
,。樣片調平機構，自動完成
,。樣片調焦機構,，氣缸自動調
。承片臺 3 個（2 英寸,、3 英寸,、4 英寸）
。掩模夾 3 個（3 英寸,、4 英寸、5 英寸）
,。掩模抽拉式上下機構
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型,，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
。光源,、電源
,。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍,、20 倍，共 6 個）
,。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍、20 倍,，共 6 個）17
,。CCD 光學系統(tǒng)（選配件）
。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)
,。光源,、電源
。成像光學系統(tǒng)
,。數(shù)據(jù)采集卡
,。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
,。單片機控制系統(tǒng)
,。控制柜桌
,。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統(tǒng)
,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動開關等
,。電磁閥驅動
。氣動儀表
（7）其他附件
,。真空泵一臺（無油泵）
,。空壓機一臺 （音靜泵）
,。管道
暫無數(shù)據(jù),！
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