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技術(shù)參數(shù)

,。曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）

。曝光波長：365nm： 40mW/cm,，405nm：20-40mW/cm2

,。分辨力：1 μm

。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn),，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍,、10 倍、20 倍

目鏡三對：4 倍,、10 倍,、20 倍

。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像,，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

,。對準(zhǔn)精度：±2.5μm（雙面，片厚 0.8mm）,，± 0.6μm（單面）

。掩模尺寸： 3 英寸,、4 英寸,、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）

,。樣片尺寸：2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸（6 英寸配置） ,，厚度 0.1mm--2mm

。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量

。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍）,，5%（ Ф150 mm 范圍）

,。掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：350W（直流,，進(jìn)口）

,。**膠厚：350 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）

,。光源平行性：3.5°

外形尺寸：1300mm（長）x1000mm(寬) x1800mm（高）

配置

（1）曝光頭（兩套）

,。冷光橢球鏡

。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

,。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺(tái)

,。掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺(tái)

,。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),，自動(dòng)完成

,。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)

,。承片臺(tái)：2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸（6 英寸配置）

,。掩模夾：3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸（6 英寸配置）

（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測）

,。光源,、電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍,、20 倍，共 6 個(gè)）

,。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍、20 倍,，共 6 個(gè)）

,。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）26

。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺(tái)

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

,。光源,、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

,。數(shù)據(jù)采集卡

,。CCD

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

,。單片機(jī)控制系統(tǒng)

,。控制柜桌

,。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動(dòng)開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

,。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

,。真空泵一臺(tái)（無油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

,。管道