參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
四川樣本
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URE-2000S/25S 型雙面光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)
,。曝光面積:4 英寸(或 6 英寸)
。曝光波長(zhǎng):365nm: 40mW/cm,,405nm:20-40mW/cm2
,。分辨力:1 μm
。正面對(duì)準(zhǔn)采用雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn),,也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn),,光學(xué)合像,光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,,光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì):4 倍,、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì):4 倍,、10 倍,、20 倍
。底面面對(duì)準(zhǔn):采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像,,物鏡軸距范圍 10mm-148mm
,。對(duì)準(zhǔn)精度:±2.5μm(雙面,片厚 0.8mm),,± 0.6μm(單面)
,。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸(6 英寸配置)
。樣片尺寸:2 英寸,、3 英寸,、4 英寸,、6 英寸(6 英寸配置) ,厚度 0.1mm--2mm
,。曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)和定劑量
,。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍),5%( Ф150 mm 范圍)
,。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率:350W(直流,,進(jìn)口)
,。**膠厚:350 μm (SU8 膠,用戶提供檢測(cè)條件)
,。光源平行性:3.5°
外形尺寸:1300mm(長(zhǎng))x1000mm(寬) x1800mm(高)
配置
(1)曝光頭(兩套)
,。冷光橢球鏡
。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
,。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄,、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組(79 個(gè)透鏡)、i 線濾光片,、場(chǎng)鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
,。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
,。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),,自動(dòng)完成
,。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),氣缸自動(dòng)調(diào)
,。承片臺(tái):2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸(6 英寸配置)
,。掩模夾:3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸(6 英寸配置)
(3)雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡(可以選擇帶 CCD 型,,目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè))
。光源,、電源
,。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對(duì)(10 倍,、16 倍,、20 倍,共 6 個(gè))
,。物鏡 3 對(duì)(4 倍,、10 倍、20 倍,,共 6 個(gè))
,。CCD 光學(xué)系統(tǒng)(選配件)26
。XYZ 底面對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
(4)底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
,。光源,、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
,。數(shù)據(jù)采集卡
,。CCD
(5)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
,。單片機(jī)控制系統(tǒng)
,。控制柜桌
,。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(21 英寸寬屏液晶顯示器)
(6)氣動(dòng)系統(tǒng)
,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動(dòng)開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
,。氣動(dòng)儀表
(7)其他附件
,。真空泵一臺(tái)(無油泵)
??諌簷C(jī)一臺(tái) (音靜泵)
,。管道
暫無數(shù)據(jù)!
產(chǎn)品質(zhì)量
售后服務(wù)
易用性
性價(jià)比