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URE-2000S/25S 型雙面光刻機
技術參數
。曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）
,。曝光波長：365nm： 40mW/cm,，405nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1 μm
,。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準,，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像,，光學**倍數 400 倍,，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍
目鏡三對：4 倍,、10 倍、20 倍
,。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對準精度：±2.5μm（雙面,，片厚 0.8mm）,，± 0.6μm（單面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸（6 英寸配置）
。樣片尺寸：2 英寸,、3 英寸,、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） ,，厚度 0.1mm--2mm
,。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍）,，5%（ Ф150 mm 范圍）
,。掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：350W（直流,，進口）
,。**膠厚：350 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）
,。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長）x1000mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭（兩套）
,。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
,。XYZ 汞燈調節(jié)臺
,。冷卻風扇
。光學系統：固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡鏡 1,、準直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
,。掩模樣片相對運動臺
,。轉動臺
。樣片調平機構,，自動完成
。樣片調焦機構,，氣缸自動調
,。承片臺：2 英寸、3 英寸、4 英寸,、6 英寸（6 英寸配置）
,。掩模夾：3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸（6 英寸配置）
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）
,。光源,、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
,。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍、20 倍,，共 6 個）
,。物鏡 3 對（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個）
。CCD 光學系統（選配件）26
,。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統
,。光源、電源
,。成像光學系統
,。數據采集卡
。CCD
（5）電控系統
,。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
,。單片機控制系統
?？刂乒褡?/span>
,。計算機系統（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統
。氣缸,、電磁閥,、減壓閥、氣動開關等
,。電磁閥驅動
,。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
,?？諌簷C一臺 （音靜泵）
,。管道
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