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OAI Model 212型桌面掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

,。輸出光譜范圍:Hg: G(436nm)，H(405nm),，I(365nm)和310nm,，Hg-Xe: 260 nm和220 nm或LED:365 nm、395 nm和405 nm

,。燈功率范圍從1000到5000 w

,。選擇UVLED (365 nm和405 nm)光源

?；叽绶秶鷱?2“dia平方

,。特殊12“x 12”和3毫米厚玻璃基板

?；Q拋擲和面具

,。空氣軸承真空吸盤(pán)

,。接近(15-20umgap): & lt; 3.0 - 5.0,，柔軟觸點(diǎn):2.0um，硬觸點(diǎn):1um和真空接點(diǎn):≤0.5um

,。對(duì)齊模塊X,， Y，和Z軸和θ

,。雙通道光學(xué)反饋

,。只提供正面接觸w / IR選項(xiàng)

。僅在桌面選項(xiàng)可用,，適用于研發(fā)和獨(dú)立的工作

,。占用空間小

。適用于生物學(xué),、微機(jī)電系統(tǒng),、半導(dǎo)體和Microfludics CLiPP應(yīng)用程序

Model 212 Table Top Mask Aligner System

,。 Output Spectra Range: Hg: G (436nm)， H (405nm),， I(365nm) and 310nm lines,， Hg-Xe: 260nm and 220nm or LED: 365nm， 395nm and 405nm

,。 Lamp Power range from 1000 to 5000W

,。 Option for UVLED (365nm and 405nm) Light Source

。 Substrate sizes range from 12” dia to sq

,。 Special 12” x 12” and up to 3mm thick Glass Substrates

,。 Interchangeable chucks and mask holders

。 Air bearing vacuum chuck

,。Proximity (15-20umgap ): <3.0 – 5.0um,， Soft Contact: <2.0um， Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um

,。 Alignment module X,， Y， and Z axis and theta

,。 Dual-channel optical feedback

,。 Provides Front side exposure only w/ IR Option

。 Available in Table top option only and applicable for R&D and standalone work

,。 Small Footprint

,。 Applicable for Biology， MEMS,， Semiconductor and Microfludics,， CLiPP applications