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主要技術(shù)參數(shù)

,。曝光面積：8 英寸

。曝光波長：365nm： 15mW/cm,，405nm：15-30mW/cm2

,。分辨力：1 μm

。對準(zhǔn)精度：±2 μm （雙面,，片厚 0.8mm）±0.8 μm （單面）

,。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸,，7 英寸,，9 英寸

。樣片尺寸：3 英寸,、4 英寸,，6 英寸，8 英寸,，厚度 0.1mm—2mm

,。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

,。 數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

,。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口

,。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),，光學(xué)合像,，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍

目鏡三對：10 倍,、16 倍、20 倍

,。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,，物鏡軸距范圍 10mm-200mm

。照明不均勻性：5%（Ф200mm 范圍）

,。掩模相對于樣片運動行程：

X：±5mm; Y：±5mm; Thelta：±6 度

,。**膠厚：500 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）

,。光源平行性：2°

,。具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。汞燈功率：1000W（直流,，進口）

外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬) x2000mm（高）

設(shè)備構(gòu)成與配置明細

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）,、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng),、底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng),、電控系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成,。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

,。冷光橢球鏡

。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

,。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（109 余個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：

,。掩模樣片相對運動臺（XY）

,。轉(zhuǎn)動臺（θ）

。樣片自動調(diào)平機構(gòu)

,。樣片調(diào)焦機構(gòu)?承片臺 4 個 （3 英寸,、4 英寸,，6 英寸，8 英寸）

,。掩模架 4 個 （4 英寸,、5 英寸，7 英寸,，9 英寸）

,。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）系統(tǒng)包括：

,。LED 照明及配套電源

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍,、20 倍，共 6 個）

,。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍、20 倍,，共 6 個）

,。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺（兩套）

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

,。LED 照明及配套電源

,。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

,。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

,。單片機控制系統(tǒng)

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,。計算機系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

。氣缸,、電磁閥,、減壓閥、氣動開關(guān)等

,。電磁閥驅(qū)動

,。氣動儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺（無油靜音型）

,?？諌簷C一臺（無油靜音型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

,。管道