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桌面單點(diǎn)測量
低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng),，對不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。沒有內(nèi)置自動化,?？蛇x配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠,。
MDPspot可配電阻率測試選項(xiàng),。僅適用于硅,，用于晶圓片,，也可用于晶錠。
結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件,。
無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測試
對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測,，具有可視化測試的**分辨率
對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)
體積小，成本低,，使用方便,。擁有一個(gè)基本的軟件,，結(jié)果可視化,。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整,。
暫無數(shù)據(jù),！
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