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主要技術參數(shù)：

（1）曝光面積：100mm×100mm,；

（2）照明不均勻性： ≤3%（ Ф100mm 范圍）；

（3）分辨力：1.0 μm（膠厚 2.0 μm 的正膠,，365nm 波長）

（4）對準精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸,、3 英寸、4 英寸,、5 英寸,；

（6）樣片尺寸：直徑 Ф15mm-- Ф100mm,、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm;Thelta:±6°,；

（8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（進口）；

（10）曝光波長：365nm,；

（11）曝光強度：≥20mW/cm2,；

（12）曝光定時：計時方式(0.1s—9999.9s 任意設定).

（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復

（14）數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙

（15）具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口

技術構成與配置

設備由曝光頭系統(tǒng),、對準工件臺系統(tǒng)、CCD 對準顯微鏡系統(tǒng),、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構成,。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括:

◆ 進口紫外 LED 光源模塊；

◆ LED 光源整形模塊,；

◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺；

◆ 光學系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄,、電子快門,、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）,、場鏡組、反射鏡組）,；

◆ 冷卻風扇,。

（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：

◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）,；

◆ 轉動臺；

◆ 樣片調(diào)平機構,，采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式；

◆ 樣片調(diào)焦機構,，采用電機加傳感器方式,，可數(shù)字分離曝光間隙,；

◆ 承片臺 4 個（Ф15mm 、2 英寸,、3 英寸,、4 英寸各 1 個）；

◆ 掩模夾 4 個（2.5 英寸,、3 英寸、4 英寸,、5 英寸各 1 個）。

（3）CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括：

◆ 對準光源 LED 燈,；

◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體,；

◆ 目鏡 3 對（10 倍,、16 倍、20 倍,，共 6 個）,；

◆ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個）,；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器,。

（4）電控系統(tǒng)包括：

◆ 單片機控制系統(tǒng)；

◆ 紫外 LED 電源模塊,；

◆ 控制柜桌。

（5）氣動系統(tǒng)包括：

◆ 氣缸,、電磁閥,、減壓閥,、氣動開關、電磁閥驅動,、氣動儀表等 ,。

(6)．輔助設備配置:

◆ 真空泵 1 臺（干泵）,；

◆ 靜音空氣壓縮機 1 臺；

◆ 配套接管 10m,；

(7)．備品備件

◆ 對準光源燈 4 只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）,；