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技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：4 英寸

,。曝光波長：365nm： 25mW/cm,，405nm：20-40mW/cm2

。分辨力：1μm

,。對準(zhǔn)精度： ± 2μm（雙面,，片厚 0.8mm） ± 0.8μm（單面）

,。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸,、5 英寸

,。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸,、4 英寸,，厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定時和定劑量

,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

,。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口

,。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),，光學(xué)合像,，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍,、10 倍,、20 倍

目鏡三對：10 倍、16 倍,、20 倍

,。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

,。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍）

,。掩模相對于樣片運動行程：

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度

。膠厚：600 μm（SU8 膠,，用戶提供檢測條件）

,。光源平行性：2°

。具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

,。汞燈功率：1000W（直流,，進口）

外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬) x2000mm（高）

配置

（1）曝光頭

。冷光橢球鏡

,。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,，長壽命型)；

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

,。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺

,。掩模樣片相對運動臺

,。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),，自動完成

,。樣片調(diào)焦機構(gòu)

。承片臺 3 個 （3 英寸,、4 英寸,，5 英寸）

。掩模夾 3 個 （2 英寸,、3 英寸,、4 英寸）

。掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型,，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

,。光源（配備品 2 只）、電源

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

,。目鏡 3 對（10 倍、16 倍,、20 倍,，共 6 個）11

。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍,、20 倍，共 6 個）

,。CCD 光學(xué)系統(tǒng)

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

,。光源（配備品 2 只）、 電源

,。成像光學(xué)系統(tǒng)(2 套)

,。雙通道數(shù)據(jù)采集卡

。CCD（兩套）

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

,。單片機控制系統(tǒng)

,。控制柜桌

,。計算機系統(tǒng)（監(jiān)視器配 21 英寸寬屏液晶）

（6）氣動系統(tǒng)

,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

,。氣動儀表

（7）其他附件

,。無油靜音真空泵一臺

。無油靜音空壓機一臺

,。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

,。管道