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URE-2000B型紫外單面光刻機
URE-2000B型紫外單面光刻機

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產(chǎn)地

四川

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暫無
深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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URE-2000B 型紫外單面光刻機

1.技術(shù)參數(shù)

。曝光面積:100mmX100mm

,。曝光波長:365nm

。分辨力:0.8μm(膠厚 2μm 的正膠)

,。對準(zhǔn)精度:± 0.6μm

,。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸

,。樣片尺寸:直徑 ± 15mm--± 100mm(各種不規(guī)則片)

厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)

,。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

。具備真空接觸曝光,、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能

,。照明不均勻性: 2.5%(±100mm 范圍)

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),,也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,,光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,,光學(xué)+電子放大 800 倍物鏡 3 對:4 倍、10 倍,、20 倍,; 目鏡 3 對:10 倍、16 倍,、20 倍

,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

,。具備壓印模塊接口,,也具備接近模塊接口15

。掩模相對于樣片運動行程: X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度

,。**焦厚:600μm(SU8 膠,,用戶提供檢測條件)

。光源平行度:1.2o

,。曝光能量密度:>20mW/cm

,。汞燈功率:1000W(直流,進口)

2.外形尺寸:1400mm(長)?1200mm(寬) ?1950mm(高)

3.配置

(1)曝光頭

,。冷光橢球鏡

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

,。1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

,。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄,、快門,、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組(109 個透鏡),、i 線濾光片、場鏡,、冷光反射鏡 1,、反射鏡 2

(2)對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片整體運動臺

,。掩模樣片相對運動臺

,。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),,自動完成

,。樣片自動調(diào)焦機構(gòu)

,。承片臺 4 個(?15mm 、2 英寸,、3 英寸,、4 英寸)

。掩模夾 4 個(2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸)

,?;槔缴舷聶C構(gòu)

(3)對準(zhǔn)顯微鏡及 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源,、電源

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍,、16 倍,、20 倍,共 6 個)

,。物鏡 3 對(4 倍,、10 倍、20 倍,,共 6 個)

,。CCD

。21 英寸液晶顯示器

(4)電控系統(tǒng)

,。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)16

,。單片機控制系統(tǒng)

??刂乒褡?/span>

(5)氣動系統(tǒng)

,。氣缸、電磁閥,、減壓閥、氣動開關(guān)等

,。電磁閥驅(qū)動

,。氣動儀

(6)其他附件

。真空泵一臺(無油泵)

,??諌簷C一臺(靜音泵)

。管道

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

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