日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

1．技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：100mmX100mm

,。曝光波長：365nm

。分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）

,。對準(zhǔn)精度：± 0.6μm

,。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸

,。樣片尺寸：直徑 ± 15mm--± 100mm（各種不規(guī)則片）

厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)

,。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。具備真空接觸曝光,、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能

,。照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn),，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像,，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,，光學(xué)+電子放大 800 倍物鏡 3 對：4 倍、10 倍,、20 倍,； 目鏡 3 對：10 倍、16 倍,、20 倍

,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

,。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口15

。掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度

,。**焦厚：600μm（SU8 膠,，用戶提供檢測條件）

。光源平行度：1.2o

,。曝光能量密度：>20mW/cm

,。汞燈功率：1000W（直流，進口）

2．外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬) ?1950mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

,。冷光橢球鏡

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

,。1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

,。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄,、快門,、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）,、i 線濾光片、場鏡,、冷光反射鏡 1,、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片整體運動臺

,。掩模樣片相對運動臺

,。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),，自動完成

,。樣片自動調(diào)焦機構(gòu)

,。承片臺 4 個（?15mm 、2 英寸,、3 英寸,、4 英寸）

。掩模夾 4 個（2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸）

,?；槔缴舷聶C構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡及 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源,、電源

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍,、20 倍，共 6 個）

,。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍、20 倍,，共 6 個）

,。CCD

。21 英寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

,。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)16

,。單片機控制系統(tǒng)

?？刂乒褡?/span>

（5）氣動系統(tǒng)

,。氣缸、電磁閥,、減壓閥、氣動開關(guān)等

,。電磁閥驅(qū)動

,。氣動儀

（6）其他附件

。真空泵一臺（無油泵）

,?？諌簷C一臺（靜音泵）

。管道