日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

型號：IBSH-1030

特點：

1,、基板水平放置,，垂直監(jiān)控；

2,、靶材左右移動,，位置和速度可編程控制；

3,、基板：12吋×1 或 6吋×4,；

4、靶材：兩靶,，三靶或四靶可更換,；

5、多光路監(jiān)控,。

6,、無膜厚分布修正板

工藝參數(shù)：

一,，真空系統(tǒng)

1、極限真空度：4.0×10-5Pa 

2,、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘

3,、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1,、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005°

2,、工件旋轉(zhuǎn):<1000RPM

3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4,、膜厚修正板：0.005°

5,、擋板:  position switch

三，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1,、波長范圍：380nm～1650nm

2,、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02%

3,、波長分辨率: 白光0.2nm,，激光0.1nm

4、波長準確度: 白光0.2nm ,，激光0.1nm

型號：IBSH-1030

特點：

1,、基板水平放置，垂直監(jiān)控,；

2,、靶材左右移動，位置和速度可編程控制,；

3,、基板：12吋×1 或 6吋×4；

4,、靶材：兩靶,，三靶或四靶可更換；

5,、多光路監(jiān)控,。

6、無膜厚分布修正板

工藝參數(shù)：

一,，真空系統(tǒng)

1,、極限真空度：4.0×10-5Pa 

2、抽至10Pa所用時間：≦ 10 分鐘

3,、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二,，控制精度

1、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005°

2,、工件旋轉(zhuǎn): <1000RPM

3,、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev

4,、膜厚修正板：0.005°

5、擋板:  position switch

三,，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS

1,、波長范圍：380nm～1650nm

2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%,，激光< 0.02%

3,、波長分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm

4,、波長準確度: 白光0.2nm ,，激光0.1nm