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無接觸破壞的半導(dǎo)體特性
少數(shù)載流子壽命的檢測能力
先進(jìn)的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義
獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測量
完全自動化的內(nèi)聯(lián)集成
對太陽能級硅錠進(jìn)行掃描,，1mm分辨率
測量時間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描,，可自動測量所有4個面
Automated determination of cut off criteria
先進(jìn)光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測試,，同時可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的
線掃描測試,。客戶定義的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫,，該數(shù)據(jù)庫允許對下一代光伏晶圓廠進(jìn)行完全自動化的材料監(jiān)控,。
對爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測，并進(jìn)行失效分析,。特殊的“underneath the surface”測量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真,。
Recognition of cracks， chunks etc. Automated cut criteria definition,， lifetime map
暫無數(shù)據(jù),！
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