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技術(shù)參數(shù)

,。曝光面積：6 英寸

,。曝光波長(zhǎng)：365nm：

。功率密度：＞25mW/cm2

,。分辨力：1 μm

,。正面雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：

既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn),，光學(xué)合像,，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800倍,，物鏡三對(duì)：4 倍,、10 倍、20 倍,；目鏡三對(duì)：4 倍,、10 倍、20 倍

,。正面立式雙 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍,；具備側(cè)向光源

,。底面面對(duì)準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

,。對(duì)準(zhǔn)精度：±2 μm（雙面,，片厚 0.8mm）,，±0.8 μm（單面）

。掩模尺寸：3 英寸,、4 英寸,、5 英寸、7 英寸

,。樣片尺寸：：2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸,，厚度 0.1mm--2mm(雙面)

。曝光方式：定時(shí)和定劑量

,。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍）,，4%（ Ф150 mm 范圍）13

。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

,。汞燈功率：350W（直流,，進(jìn)口）

。調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)

,。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙

,。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

,。膠厚：350 μm（SU8 膠,，用戶提供檢測(cè)條件）

。光源平行性：3.5°

外形尺寸：1300mm（長(zhǎng)）x900mm(寬) x1800mm（高）

配置

（1）曝光頭

,。冷光橢球鏡

,。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

,。冷卻風(fēng)扇

,。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄,、快門,、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）,、i 線濾光片、場(chǎng)鏡1,、冷光反射鏡 1,、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

,。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),，自動(dòng)完成

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),，氣缸自動(dòng)調(diào)

。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸,、3 英寸,、4 英寸、6 英寸）

,。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸,、4 英寸、5 英寸,、7 英寸）

,。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測(cè)）

,。光源,、電源

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

,。目鏡 3 對(duì)（10 倍,、16 倍、20 倍,，共 6 個(gè)）

,。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個(gè)）

。立式雙 CCD 光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 14

,。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源

（4）底面 CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

,。光源、電源

,。成像光學(xué)系統(tǒng)

,。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

（5）電控系統(tǒng)

,。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

,。單片機(jī)控制系統(tǒng)

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,。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動(dòng)開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

,。氣動(dòng)儀表

（7）其他附件

,。真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）

?？諌簷C(jī)一臺(tái) （音靜泵）

,。管道