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技術參數(shù)

,。曝光面積：6 英寸

。曝光波長：365nm：

,。功率密度：＞25mW/cm2

。分辨力：1 μm

。正面雙目雙視場對準顯微鏡：

既可通過目鏡目視對準,，也可通過 CCD+顯示器對準,，光學合像，光學倍數(shù) 400 倍,，光學+電子放大 800倍,，物鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍,；目鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍

,。正面立式雙 CCD 對準系統(tǒng)，光學放大,，0.65-4.5 倍,；具備側(cè)向光源

。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

,。對準精度：±2 μm（雙面，片厚 0.8mm）,，±0.8 μm（單面）

,。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸

。樣片尺寸：：2 英寸,、3 英寸,、4 英寸、6 英寸,，厚度 0.1mm--2mm(雙面)

,。曝光方式：定時和定劑量

。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍）,，4%（ Ф150 mm 范圍）13

,。掩模相對于樣片運動行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：350W（直流,，進口）

,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復

。數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙

,。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口

,。膠厚：350 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）

,。光源平行性：3.5°

外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）

配置

（1）曝光頭

,。冷光橢球鏡

。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

,。冷卻風扇

。光學系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡鏡 1,、準直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準工件臺

,。掩模樣片相對運動臺

,。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構,，自動完成

,。樣片調(diào)焦機構，氣缸自動調(diào)

,。承片臺 4 個（2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸）

,。掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸）

。掩模抽拉式上下機構

（3）雙目雙視場對準顯微鏡（帶 CCD,，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

,。光源、電源

,。雙目雙視場對準顯微鏡主體

,。目鏡 3 對（10 倍、16 倍,、20 倍,，共 6 個）

,。物鏡 3 對（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個）

。立式雙 CCD 光學對準系統(tǒng) 14

,。側(cè)向?qū)使庠?/span>

（4）底面 CCD 對準系統(tǒng)

。光源,、電源

,。成像光學系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

,。CCD

（5）電控系統(tǒng)

,。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

,?？刂乒褡?/span>

。計算機系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

,。氣缸,、電磁閥、減壓閥,、氣動開關等

,。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

（7）其他附件

,。真空泵一臺（無油泵）

,。空壓機一臺 （音靜泵）

,。管道