URE-2000/35A 型紫外單面光刻機(jī)
1．技術(shù)特征——非常適合工廠（效率高,，操作傻瓜型,，全自動(dòng)）和高校教學(xué)科研（可靠性好，演示方便）采用自動(dòng)找平,，具備真空接觸曝光,、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,，自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,，采用 350W 進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度,。設(shè)備外形美觀精制,，性能非常可靠,，自動(dòng)化程度很高,，操作十分方便,。
2．技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：6 英寸
,。曝光波長(zhǎng)：365nm
,。分辨力：1-1.2μm（膠厚 2 μm的正膠）
。對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm
,。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm; Y:15mm
,。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸
。樣片尺寸：直徑 ±15mm-- ±150mm（各種不規(guī)則片） 21厚度 0.1mm--6mm
,。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
,。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光,，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 6%（±150mm 范圍）
,。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn),，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像,，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍,、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍,、16 倍、20 倍
,。調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
,。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口
,。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o
。**焦厚：350μm（SU8 膠,，用戶提供檢測(cè)條件）
,。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>15mW/cm2,，照明面溫度<35 o
,。單層曝光一鍵完成
。采用球氣浮自動(dòng)找平
,。汞燈功率：350W（直流,，進(jìn)口）
3．外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）x900mm(寬) x1750mm（高）
4．配置
（1）曝光頭
,。冷光橢球鏡
,。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
。冷卻風(fēng)扇
,。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄、快門(mén),、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）,、i 線濾光片,、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡 1,、反射鏡 2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
,。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
,。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
,。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，三點(diǎn)自動(dòng)完成22
,。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),，電機(jī)自動(dòng)調(diào)
?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)
,。承片臺(tái) 4 個(gè)：?15mm 、3 英寸,、4 英寸,、6 英寸（可按用戶要求增減）
。掩模夾 4 個(gè)：3 英寸,、4 英寸,、5 英寸、7 英寸（可按用戶要求增減）
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
,。光源（配備品 2 只）,、 電源
。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
,。目鏡 3 對(duì)（10 倍,、16 倍、20 倍,，共 6 個(gè)）
,。物鏡 3 對(duì)（4 倍,、10 倍、20 倍,，共 6 個(gè)）
,。CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，21 寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
,。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
,。單片機(jī)控制系統(tǒng)
?？刂乒褡?/span>
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
,。氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
,。真空泵一臺(tái)
?？諌簷C(jī)一臺(tái)
,。管道
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