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,。曝光面積：4 英寸

。曝光波長(zhǎng)：365nm

,。分辨力：1 μm（膠厚 2 μm的正膠）

,。對(duì)準(zhǔn)精度：± 0.8μm

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm

,。掩模尺寸：2.5 英寸,、3 英寸、4 英寸,、5 英寸

,。樣片尺寸：直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--6mm

,。曝光方式：定時(shí)和定劑量

,。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍）

。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn),，也可通過(guò) CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn),，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍,， 光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對(duì)：4 倍,、10 倍、20 倍

目鏡三對(duì)：4 倍,、10 倍,、20 倍

。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：

X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o

,。焦厚：350μm（SU8 膠,，用戶提供檢測(cè)條件）

。光源平行性：3.5 o

,。曝光能量密度：>20mW/cm2,，照明面溫度<35 o

。汞燈功率：350W（直流,，進(jìn)口）33

2．外形尺寸：1200mm（長(zhǎng)）x900mm(寬) x1750mm（高）

3．配置

（1）曝光頭

,。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)

,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

,。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）,、i 線濾光片、場(chǎng)鏡1,、場(chǎng)鏡 2,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

,。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

,。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

,。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),， 手動(dòng)

,。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),，手動(dòng)

。承片臺(tái) 3 個(gè)（?50mm ,、?75mm ,、 ?100mm）

。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸）

,?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)

（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

。光源（配備品 2 只）,、電源

,。雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(duì)（10 倍,、16 倍,、20 倍，共 6 個(gè)）

,。CCD 及 21 英寸液晶顯示器

,。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個(gè)）

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

,。單片機(jī)控制系統(tǒng)

,。控制箱

（5）氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸,、電磁閥,、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等

,。電磁閥驅(qū)動(dòng)

,。氣動(dòng)儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺(tái)

,?？諌簷C(jī)一臺(tái)

。管道