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URE-2000/25 型紫外單面光刻機
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積:4 英寸
,。曝光波長:365nm
,。分辨力:1 μm(膠厚 2 μm的正膠)
,。對準精度:± 0.8μm
。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm
,。掩模尺寸:2.5 英寸,、3 英寸、4 英寸,、5 英寸
,。樣片尺寸:直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片),厚度 0.1mm--6mm
,。曝光方式:定時和定劑量
,。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍)
。雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,,也可通過 CCD+顯示器對準,,光學合像,光學倍數(shù) 400 倍,, 光學+電子放大 800 倍
物鏡三對:4 倍,、10 倍、20 倍
目鏡三對:4 倍,、10 倍,、20 倍
。掩模相對于樣片運動行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6o
,。焦厚:350μm(SU8 膠,,用戶提供檢測條件)
。光源平行性:3.5 o
,。曝光能量密度:>20mW/cm2,,照明面溫度<35 o
。汞燈功率:350W(直流,,進口)33
2.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)
3.配置
(1)曝光頭
,。冷光橢球鏡
。350W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
,。冷卻風扇
。光學系統(tǒng):固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡鏡 1,、準直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片,、場鏡1,、場鏡 2,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
(2)對準工件臺
,。掩模樣片整體運動臺
,。掩模樣片相對運動臺
。轉(zhuǎn)動臺
,。樣片調(diào)平機構(gòu), 手動
,。樣片調(diào)焦機構(gòu),,手動
。承片臺 3 個(?50mm ,、?75mm ,、 ?100mm)
。掩模夾 4 個(2.5 英寸,、3 英寸,、4 英寸、5 英寸)
,?;槔缴舷聶C構(gòu)
(3)對準顯微鏡
。光源(配備品 2 只),、電源
,。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對(10 倍,、16 倍,、20 倍,共 6 個)
,。CCD 及 21 英寸液晶顯示器
,。物鏡 3 對(4 倍、10 倍,、20 倍,,共 6 個)
(4)電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
,。單片機控制系統(tǒng)
,。控制箱
(5)氣動系統(tǒng)
,。氣缸,、電磁閥、減壓閥,、氣動開關(guān)等
,。電磁閥驅(qū)動
,。氣動儀表
(6)其他附件
。真空泵一臺
,??諌簷C一臺
。管道
暫無數(shù)據(jù),!