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技術(shù)參數(shù)

,。曝光面積：4 英寸

,。光 源：紫外 LED

。曝光波長：365nm：20-40mW/cm2

,。分辨力：1μm

,。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),，光學(xué)合像,，光學(xué)* 大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍,、10 倍,、20 倍

目鏡三對：4 倍、10 倍,、20 倍

,。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

,。對準(zhǔn)精度：± 2 μm（雙面,，片厚 0.8mm），Thelta: 0.6μm（單面）

,。掩模尺寸：3 英寸,、4 英寸、5 英寸

,。樣片尺寸：2 英寸,、3 英寸、4 英寸,，厚度 0.1mm--2mm(雙面)

,。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍）22

,。掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度

,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

,。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口

,。**膠厚：400 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）

,。光源平行性：2°

外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）

配置

（1）曝光頭

,。冷光橢球鏡

。LED 進(jìn)口光源

,。冷卻模塊

,。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1,、準(zhǔn)直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、冷光反射鏡 1、反射鏡 2,、能力調(diào)節(jié)器,、微光學(xué)整形元件

（2）對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片相對運(yùn)動臺

,。轉(zhuǎn)動臺

,。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動完成

,。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動調(diào)

,。承片臺 3 個（2 英寸,、3 英寸,、4 英寸）

。掩模夾 3 個（3 英寸,、4 英寸,、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)

（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型,，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

,。光源、電源

,。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍,、16 倍,、20 倍,，共 6 個）

,。物鏡 3 對（4 倍、10 倍,、20 倍,，共 6 個）

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)（選配件）

,。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺23

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。光源,、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

,。數(shù)據(jù)采集卡

,。CCD

（5）電控系統(tǒng)

,。單片機(jī)控制系統(tǒng)

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,。計算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

,。氣缸,、電磁閥、減壓閥,、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

,。氣動儀表

（7）其他附件

,。真空泵一臺（無油泵）

,。空壓機(jī)一臺 （音靜泵）

,。管道