德國海德堡Heidelberg激光直寫光刻機μPG 101

適合用于科研領(lǐng)域

臺式激光直寫機

操作簡單,，可支持灰度光刻

μPG101是一款經(jīng)濟實惠且易于操作的圖形發(fā)生器，適用于直寫和少批量的掩模板制作,。該系統(tǒng)可用于MEMS,、Bio MEMS、Integrated Optics,、Micro Fluidics或任何其他需要高精度,、高分辨率微結(jié)構(gòu)的制作。

μPG101的面積僅為60x75cm2,，設(shè)計精巧,，將所有電子組件集成在系統(tǒng)中，由系統(tǒng)控制主機運作,?；赪indows®的控制接口,，使用戶可以輕松進行數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)文件，經(jīng)過手動或自動對準(zhǔn)之后,，即可開始曝光,。

μPG101主要提供簡單快速的方式來創(chuàng)建微結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可透讀寫模塊的更換,，以滿足不用的分辨率和寫入速度的要求,。它是市面上**達(dá)到亞微米結(jié)構(gòu)的桌上型光刻系統(tǒng)，即使是偏小網(wǎng)格,，依然具有非常高精度的結(jié)構(gòu),。實時自動對焦系統(tǒng)可在曝光期間實時監(jiān)控和校正聚焦位置，從而確保整個曝光區(qū)域的高分辨率和可重復(fù)性,。精密網(wǎng)格和實時自動對焦裝置是專業(yè)微圖型發(fā)生器的標(biāo)準(zhǔn)要求,。

μPG101的應(yīng)用包括 Life Science 、MEMS ,、 Semiconductor 、Sensors,、Actuators,、MOEMS、Material Research,、Nano-Tubes,、Graphene以及任何其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。