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英國(guó)Oxford等離子去膠機(jī)(灰化)Plasma Stripper (Asher)

應(yīng)用:從蝕刻晶圓片上移除光刻膠

流程配置: RIE/ICP

工作原理

,。使用等離子體源,，生成單原子反應(yīng)種。

,。氧是*常見的反應(yīng)物質(zhì),。反應(yīng)性物質(zhì)與光阻結(jié)合形成灰，

,。用真空泵將其除去,。

。ICP結(jié)構(gòu)避免了高能離子轟擊和電容耦合,，

,。提供低襯底損傷。

可用氣體: O2,， N2O

主要性能:

,。開放式設(shè)計(jì)，可快速加載和卸載晶圓,。

,。基片放置在石英上,，以避免濺射/再沉積電極材料

,。通過(guò)頂部電極上的“蓮蓬頭”進(jìn)氣口將氣體注入工藝室

。電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨(dú)立射頻發(fā)生器提供對(duì)離子能量和離子密度的獨(dú)立控制

,。高電導(dǎo)泵浦端口提供高的氣體吞吐量,，以*快的腐蝕速率

。使用等離子體源,，生成單原子反應(yīng)種,。氧是*常見的反應(yīng)物質(zhì)。