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德國KSI-凱斯安i-Wafer型

全自動晶圓超聲波缺陷檢測系統(tǒng)

i-Wafer系列是一款高端儀器，操作人員可選擇接收/拒絕標(biāo)準(zhǔn),，手動或自動檢測晶圓,。在KSI i-Wafer的探測下，晶圓中的孔隙,、分層或者雜質(zhì)都能被發(fā)現(xiàn),。尺寸在450mm的多種晶圓也能進(jìn)行檢測

新型KSI i-Wafer晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的主要特點：

- 掃描速度高達(dá)2000mm/s

- 新型換能器

- 高質(zhì)畫面

- 同時使用1只、2只,、4只換能器提高效能

- 能發(fā)現(xiàn)只有幾微米的缺陷