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德國 Raith Pioneer Two 電子束光刻機(jī)：

1.系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片,，采用熱場發(fā)射電子槍,，加速電壓為20V~30kV?？蓪?shí)現(xiàn)高分辨電子束曝光，*小驗(yàn)收線寬≤8nm,。

2.系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺(tái),，運(yùn)動(dòng)行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm,，可以實(shí)現(xiàn)精確的拼接套刻,，拼接套刻精度≤50nm。

3.系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能,，其成像效果和市面上中高端的熱場電鏡類似,，放大倍數(shù)為20x ~1，000,，000x,。

4.另外，除了標(biāo)準(zhǔn)配置,， 客戶還可以增加一些選配件,，如選配背散射探測器、能譜儀等,，進(jìn)行材料分析,；選配工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)傾斜模塊，實(shí)現(xiàn)不同角度的材料成像等,。如果選擇相應(yīng)的選配件,，請?jiān)黾酉鄳?yīng)的價(jià)格。