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翻新MOCVD
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品牌

產(chǎn)地

美國(guó)

樣本

暫無
美國(guó)SVTA公司中國(guó)辦事處

會(huì)員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

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儀器簡(jiǎn)介:

Recently Refurbished

New Software, Control Hardware,,

Dry Process Pump,, Dry Loadlock

Pump and Heater Assembly.

技術(shù)參數(shù):

Wafer capacity: Three two inch wafers.

Load lock: Loadlock chamber with hepa filter loading area.

Heater: Single zone graphite heater

Temperature control: Temperature monitor single point T/C, Eurotherm controller,, single point

Sekidenko Pyrometer.

Group III MO sources: TMGa - 2 units; TMIn - 2 units; TMAl -2 units

Group V hydride sources: AsH3 -2 lines; PH3 -2 line.

Dopants MO: CP2Mg -1 unit,, DeZn - 1 unit

Dopants Hydride: H2/SiH4 - 2 lines

Neslab bath: 6 units.

Piezocon: Single channel concentration monitor for TMIn expandable to Four channels (option).

Pump: EBARA A30;

Exhaust system: particle filter/ housing; Phosphorus trap; P-trap automatic regeneration system

(option).

Gas Monitoring: CM4 4 point toxic gasmonitor.(integration option)

Software: Windows based control software.

創(chuàng)新點(diǎn)

暫無數(shù)據(jù)!

相關(guān)方案
暫無相關(guān)方案,。
相關(guān)資料
暫無數(shù)據(jù),。
用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
公司動(dòng)態(tài)
暫無數(shù)據(jù),!
技術(shù)文章
暫無數(shù)據(jù),!
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