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SVT公司的線性束流監(jiān)控儀采用B-A離子規(guī)，用于在超高真空下測(cè)量束流,。燈絲可以放在源的前面,，用以獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)來(lái)校準(zhǔn)及監(jiān)控工藝生長(zhǎng)過(guò)程。

儀器長(zhǎng)度可以客戶(hù)定制,，保證離子規(guī)有足夠的前后移動(dòng)容域度,，避免生長(zhǎng)過(guò)程中各部件相互影響。LBFM系列是高精度MBE應(yīng)用的理想選擇,。

●B-A離子規(guī)

●可放置于UHV環(huán)境中

●烘烤溫度200^oC

●2.75’’或4.5’’ CF 接口法蘭

●離子規(guī)隔離閥可選

束流電壓	10KV
燈絲電流	3A
發(fā)射電流	5A
光學(xué)路徑范圍	4¹/₂’’CF
光斑大小	1.0mm (17’’/1075px距離)
**烘烤溫度	230^oC

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