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型 號(hào)

沉積寬度

容量

法蘭尺寸

SVTA-LES-300

300mm

500cc

6’’(DN100)CF法蘭,，其他尺寸可選

SVTA-LES-600

600mm

1，000cc,， 2,，000cc， 或5,，000cc

10’’(DN200)CF法蘭,，其他尺寸可選

SVTA-LES-1200

1，200mm

2,，000cc,， 或5，000cc

10’’(DN200)CF法蘭,，其他尺寸可選

**體蒸發(fā)溫度

1,，500^oC

分流口**溫度

1，600^oC

源溫度穩(wěn)定性

+/- 0.1 ^oC

束流穩(wěn)定性

<1%

**操作環(huán)境壓強(qiáng)

5X10^-5Torr

沉積均一性

+/-4%(源與襯底距離300mm)

熱偶類型

C型

(K型可選)

冷卻時(shí)間

100^oC<120分鐘

電接插件

燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲

T/C:Omega亞微型

烘烤溫度

200^oC

冷卻水接頭

2 X ¹/₄’’ VCR (一進(jìn)一出)

**水壓

80psi

水流速率

500ml/min