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美國SVT小型MBE
SVT 公司生產(chǎn)的SMART NanoFab MBE 具有體積小容量大的優(yōu)點,。
可以多種生長模式集成于一個腔室。
桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉積源以及工藝監(jiān)控儀器的端口,。
裝載室可以盛放多個樣品,，便于在超干凈環(huán)境下操作樣品。
集成電子控制柜以及烘烤系統(tǒng)使操作系統(tǒng)非常簡便,。
可容納4或8個源,。
應用
III-V，II-VI,，II-Oxides,，III-Nitrides以及其他材料；
想使用MBE并需要其他薄膜生長模式生長的材料
沉積源和檢測儀器
蒸發(fā)源
單坩堝以及多坩堝電子束蒸發(fā)源
RF等離子體源
激光器燒蝕源
濺射源
氣體入射源
RHEED以及RHEED分析軟件
AccuFlux 原位工藝監(jiān)控儀
QCM石英晶體速率監(jiān)控儀
線性束流監(jiān)控儀
暫無數(shù)據(jù),！
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