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美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)
美國SVT超高真空解理機(jī)/解理鍍膜機(jī)

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美國

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美國SVT公司超高真空解理機(jī)

SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條,。

所有解理出的bar條被收集到樣品托,,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。

獨(dú)特設(shè)計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性,。

此解理工具可完全適用于UHV環(huán)境,。

解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊,。

解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,,不用暴露大氣。

規(guī)格在線bar條解理

加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)

加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)

8''法蘭接口

可烘烤至180oC,,(200oC可選)

樣品可以兩種方向加工

UHV環(huán)境兼容

Cassette裝取

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