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美國SVT公司超高真空解理機(jī)
SVT公司的樣品解理部件可以將15mm(其他尺寸可選)的方形樣品解理成15個1mm×15mm的Bar條,。
所有解理出的bar條被收集到樣品托,,堆疊在一起進(jìn)行下一步批量加工。
獨(dú)特設(shè)計的解理工具避免了器件被破壞以及樣品互相黏在一起的可能性,。
此解理工具可完全適用于UHV環(huán)境,。
解理機(jī)可以增加鈍化層沉積模塊,。
解理后堆疊在一起的Bar條直接進(jìn)入鈍化室,,不用暴露大氣。
規(guī)格在線bar條解理
加工15mm×15mm 樣品(10mm-32mm可選)
加工成15mm×1mm 樣品(1mm-5mm寬度可選)
8''法蘭接口
可烘烤至180oC,,(200oC可選)
樣品可以兩種方向加工
UHV環(huán)境兼容
Cassette裝取
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