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SVT HL 系列在坩堝端口有更高的溫度,。在坩堝口提高溫度,，以避免材料在蒸發(fā)過程中由于坩堝口溫度低而凝固。配有單電源,、溫度控制器和電纜,。
SVT CL 系列用于生長鋁材料。采用冷口設計阻止鋁向坩堝口外蔓延而毀壞源,。源接口可以是2.75’’法蘭或更大,。
SVT HT 系列蒸發(fā)源用于沉積低蒸汽壓材料。源的溫度可達2,，000 oC,。源接口可以是2.75’’法蘭或更大。源在運往客戶前都經(jīng)過全面檢測和標征。對于4.5’’或更大接口的源,，水冷卻罩和集成擋板可選,。
SVT也提供可用于UHV氨環(huán)境下的冷口源。此源在坩堝口帶有冷卻水,。源接口可以是2.75’’法蘭或更大,。
對于4.5’’或更大接口的源，水冷卻罩和集成擋板可選,。
型 號 | 法蘭尺寸 | 坩堝容量（CC） |
SVTA-SF-16-275 | 2.75’’ | 16 |
SVTA-SF-16-450 | 4.5’’ | 16 |
SVTA-SF-20-275 | 2.75’’ | 20 |
SVTA-SF-20-450 | 4.5’’ | 20 |
SVTA-SF-22-275 | 2.75’’ | 22 |
SVTA-SF-22-450 | 4.5’’ | 22 |
SVTA-SF-40-275 | 2.75’’ | 40 |
SVTA-SF-40-450 | 4.5’’ | 40 |
SVTA-SF-60-450 | 4.5’’ | 60 |
SVTA-SF-80-450 | 4.5’’ | 80 |
溫度范圍 | 0 oC-1,，400 oC |
功率 | 600W或1KW |
溫度穩(wěn)定性 | +/-0.1oC |
溫度重復性 | +/-0.1oC |
熱偶 | C型(D型可選) |
坩堝容量 | *16cc，20cc,，22cc,，40cc， 50cc,，60cc,，85cc， (16cc,，22cc錐形壁坩堝均一性更高) |
標準長度 | *12’’(762.5px) |
法蘭接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
電接插件 | 燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型 |
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