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生長操作器和制備臺UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’,。集成主擋板可選,。操作器可以xyz三個方向運(yùn)動。樣品托集成在操作器上,??蛇m用于氨氣、氧氣等腐蝕性環(huán)境,。
●磁耦合旋轉(zhuǎn)
●旋轉(zhuǎn)精度高
●氧環(huán)境下兼容可選
●氨環(huán)境下兼容可選
●襯底加熱溫度可達(dá)1,,400 oC
X-Y方向移動
精度0.001
重復(fù)性0.001
反沖 0
移動行程+/-0.5’’
Z方向移動
精度1mm 或1/32比例
重復(fù)性1mm 或1/32比例
反沖0
行程4.0’’
水平旋轉(zhuǎn)
精度1.25o
反沖<1 o
持續(xù)360 o旋轉(zhuǎn)
暫無數(shù)據(jù)!