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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì),，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓,、薄膜及光罩檢測(cè)，也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測(cè),。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(chǎng)（FOV）掃描區(qū)域,，支持上下表面檢測(cè)。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測(cè),。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制,，或直接集成至產(chǎn)線。
生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響,，自動(dòng)化,，潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量（數(shù)量、位置,、尺寸）
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀,、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù),。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇,。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,，以及 較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng),。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用,， PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性：雙面同 時(shí)掃描（選配）；
靜態(tài)視場(chǎng)掃描（在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品）。
多功能模塊化平臺(tái)
系 統(tǒng) 可 定 制,，以 適 應(yīng) 每 個(gè) 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程,，或 融 入 生 產(chǎn) 線 。其 配 置 包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設(shè)備,、用于檢測(cè)和清潔的封裝開(kāi)啟 設(shè)備,、填充設(shè)備、機(jī)械臂,、檢測(cè)單元以及清潔設(shè)備,。
該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測(cè)量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù),。
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
今年 11 月 2 日起，每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),，包括延安高架,、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車,、未載客的出租車等通行,。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得，不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車,，因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,，生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,，潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題,。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),，而控制
2020-12-21
2020-12-21
在電子半導(dǎo)體行業(yè),，樣品制備對(duì)于失效分析至關(guān)重要。司特爾提供的制樣設(shè)備,，如精密切割,，真空浸漬鑲嵌和機(jī)械磨拋，確保樣品分析前的最佳處理效果。使用氬離子研磨儀可以對(duì)樣品進(jìn)行無(wú)應(yīng)力的拋光或者切削處理,，便于后續(xù)
高校信賴之選！安徽大學(xué)電鏡中心成功調(diào)試 DENS Lightning Arctic TEM 原位冷凍熱電桿,！近日,，DENSsolutions 最新款 Lightning Arctic TEM 原位冷凍
近日,，飛納電鏡走進(jìn)福建農(nóng)林大學(xué),，成功舉辦了“飛納電鏡助力農(nóng)業(yè)研究技術(shù)交流會(huì)”。本次交流會(huì)吸引了眾多生命科學(xué),、材料科學(xué)和電子顯微鏡領(lǐng)域的老師和研究人員,，與會(huì)者對(duì)應(yīng)用案例的分享表現(xiàn)出極大的興趣，并進(jìn)行了深
用戶案例｜讀懂火山噴發(fā)前的“化學(xué)倒計(jì)時(shí)”,，Neoscan 顯微CT助力巖漿同化機(jī)制研究,！在地質(zhì)研究中，“時(shí)間”是一項(xiàng)最難精確捕捉的變量,。尤其是在火山噴發(fā)這樣的突發(fā)性地質(zhì)事件中,，巖漿從深部穿越地殼、與圍
半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),，支撐著從計(jì)算到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的一切功能,。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要,。AFM-in-SEM 失效分析：該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM（聚焦離子
Nature Nanotechnology ｜ 原子層沉積賦能無(wú)鈷 LiNiO? 正極材料,，引領(lǐng)全固態(tài)鋰電池性能革新！ 發(fā)表文章：High-energy all-solid-st
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