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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng)（PDS)
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測系統(tǒng),，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測量而設(shè)計,，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測,，也可用于顯示市場等基板檢測,。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場（FOV）掃描區(qū)域，支持上下表面檢測,。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計使產(chǎn)品在計量過程中無需移動即可完成檢測,。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線,。
生產(chǎn)過程中的一致性測量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測
操作簡便: 不受操作人員影響，自動化,，潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測量（數(shù)量,、位置、尺寸）
一致性: 每次測量都保持客觀,、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝,、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測服務(wù),。
該系統(tǒng)對粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度,，是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動或自動的操作方式,，以及 較低的維護(hù)成本,，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測系統(tǒng)。
對于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用,， PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性：雙面同 時掃描（選配）,；
靜態(tài)視場掃描（在圖像采集過程中無需移動產(chǎn)品）。
多功能模塊化平臺
系 統(tǒng) 可 定 制,，以 適 應(yīng) 每 個 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程,，或 融 入 生 產(chǎn) 線 。其 配 置 包括手動或自動晶圓抓取移動設(shè)備、用于檢測和清潔的封裝開啟 設(shè)備,、填充設(shè)備,、機(jī)械臂、檢測單元以及清潔設(shè)備,。
該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展,。測量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù)。
暫無數(shù)據(jù),！
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2020-12-21
2020-12-21
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