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集中傳送室位于各真空室中心，可以實(shí)現(xiàn)樣品在任意腔室之間傳遞,。樣品可以從裝載室到各個(gè)腔室模塊，例如薄膜生長(zhǎng)室,、金屬化室,、或樣品分析室,。SVT可以提高以下2種配置的集中傳送室,，也可以客戶訂制。
SVTA-CLM-6
**8''樣品
含6個(gè)12'' CF法蘭端口
6'' CF觀察窗
2.75'' CF法蘭離子規(guī)端口
SVTA-CLM-4
**5''樣品
含4個(gè)8''CF法蘭端口
4.5''CF觀察窗
2.75''CF法蘭離子規(guī)端口
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