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美國(guó)SVT生產(chǎn)型MBE
SVT 擁有20年MBE設(shè)備制造與革新的經(jīng)驗(yàn),。
MBE是半導(dǎo)體材料和器件生長(zhǎng)的主要研究制造技術(shù),。
SVT 的MBE設(shè)備提供超高真空環(huán)境,可以精確制備各種薄膜結(jié)構(gòu),,包括超高k電解質(zhì),,光電子器件,,高能通訊器件,以及其他應(yīng)用器件,。
SVT正不斷提高M(jìn)BE系統(tǒng)的性能,,并為客戶(hù)開(kāi)放新材料提供更大便利。
35V14 MBE是生產(chǎn)型的MBE系統(tǒng),,并可以加工超大尺寸樣品,。
此系統(tǒng)可以加工**14''的樣品,
并配有大容量的源以及RF6.0生產(chǎn)型Plasma源,。
可用于指標(biāo)氧化物,、氮化物、As化物等,。
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