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日本JEOL熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7200F

JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù)，標(biāo)配了TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,，因此無論是在高/低加速電壓下,，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。

產(chǎn)品規(guī)格：

主要選配件

可插拔式背散射電子探頭（RBED）

高位二次電子探頭（USD）

低真空二次電子探頭（LV-SED）

能譜儀（EDS)

波譜儀（WDS）

電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD)

陰極熒光系統(tǒng)（CLD）

樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）

電子束曝光系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術(shù),，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,，無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升,。此外,，保證300nA的**束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析,，具有充實(shí)的自動功能和易用性,，是新一代的多功能場發(fā)射掃描電鏡。

＜特點(diǎn)＞

JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng),；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,；電磁場疊加的混合式物鏡。

浸沒式肖特基電子槍

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍為日本電子的**技術(shù),，通過對電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化,，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑,。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析（EDS,、WDS面分析、EBSD分析等）,。

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號選擇的系統(tǒng),。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速,、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用,，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像,。

此外,，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓,，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下,，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子,。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD,，選配件）檢測出來,，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

混合式物鏡（電磁場疊加）

JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡,。

這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡,，比傳統(tǒng)的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率,。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。