參考價(jià)格
100-150萬元型號(hào)
CM-013品牌
超邁光電產(chǎn)地
四川成都樣本
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●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制,與中國科學(xué)院某研究所國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制,,先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng),,聯(lián)合申報(bào)國家2項(xiàng),用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域,,服務(wù)于科研和國家重大項(xiàng)目需求,,具有多功能、高穩(wěn)定和**的特點(diǎn),,歡迎各位聯(lián)合研制,。
●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng),、工件盤系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng),、離子轟擊系統(tǒng),、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),,可根據(jù)客戶使用需求定制,。
●真空腔體:φ900X1050,雙層水冷,;(可根據(jù)實(shí)際需求定制)
●真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng),;
●真空抽速:4000-7000L/S,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),,全金屬防爆真空規(guī),;
●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定),;
暫無數(shù)據(jù),!