日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

●主要功能：多靶復(fù)合磁控濺射鍍膜機,，可滿足合金膜,、單層膜,、多層膜,、導(dǎo)電膜,、非導(dǎo)電膜和反應(yīng)濺射的需要，具有極高的實用性和通用性（三靶,、垂直與共濺射合一、在線清洗基片等）,，能夠提供高水平功能薄膜研制,，特別適合于半導(dǎo)體,、新能源,、磁性材料,、儲氫材料、二維材料,、超硬薄膜,、固體潤滑薄膜,、自潔凈薄膜、等領(lǐng)域前沿研究,，同時可選配等離子刻蝕功能和輔助鍍膜,。

1. 主體和腔室：全封閉框架結(jié)構(gòu)，機柜和主機為一體式結(jié)構(gòu),，骨架默認為白色,，門板為白色,，四只腳輪,，可固定,，可移動,。真空腔室采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材質(zhì)（SUS304）,，腔體尺寸不小于為：?450x500mm,；真空室為前開門方式，采用鉸鏈連接,，自動鎖緊，并配有門到位開關(guān),，徹底杜絕誤操作；真空腔室設(shè)置DN100觀察窗口,，位置在真空腔體正前方。

2. 真空系統(tǒng)：

2.1 極限真空度≤Pa（空載,、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。

2.2 真空配置,。 前級泵為機械真空泵，抽速優(yōu)于8L/S，超高分子泵一臺,，抽速1200L/S,。

2.3 真空測量：采用進口全量程真空計,，優(yōu)選德國萊寶與瑞士inficon。

3. 工件盤系統(tǒng)：配備工件盤一套,，可安裝4英寸基片1片，選配高溫工件盤＜800℃,。

4. 磁控濺射系統(tǒng)：配置三只2-4英寸濺射陰極,，三只靶均能兼容直流和射頻濺射，并可單獨自由切換,，磁控靶安裝與真空室底部，向上濺射成膜,。

5.充氣系統(tǒng)：二路分別配置MFC質(zhì)量流量控制器,，均為0-100SCCM,，準確度±1%F.S,，線性±0.5%F.S,重復(fù)精度±0.2%F.S,。

5. 其他：配置斷水保護,，配置冷水機組，冷水機制冷量為5000Kcal,；設(shè)備配備小型靜音空壓機,；保修期1年，維修響應(yīng)時間不超過24小時,。

6. 操作系統(tǒng)及安全監(jiān)控：采用人機界面+西門子PLC實現(xiàn)對設(shè)備集中自動控制,；所有控制系統(tǒng)和電氣安裝均與主機集成在一起，避免控制柜與主機之間線路放在地上或從頂部引入帶來的問題,，模塊化設(shè)計能確保社保維護維修的便捷性,。