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●主要功能：多靶復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī),，可滿足合金膜、單層膜,、多層膜,、導(dǎo)電膜、非導(dǎo)電膜和反應(yīng)濺射的需要,，具有極高的實(shí)用性和通用性（三靶,、垂直與共濺射合一、在線清洗基片等）,，能夠提供高水平功能薄膜研制,，特別適合于半導(dǎo)體,、新能源、磁性材料,、儲(chǔ)氫材料,、二維材料、超硬薄膜,、固體潤滑薄膜,、自潔凈薄膜、等領(lǐng)域前沿研究,，同時(shí)可選配等離子刻蝕功能和輔助鍍膜,。

1. 主體和腔室：全封閉框架結(jié)構(gòu)，機(jī)柜和主機(jī)為一體式結(jié)構(gòu),，骨架默認(rèn)為白色,，門板為白色，四只腳輪,，可固定,，可移動(dòng)。真空腔室采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材質(zhì)（SUS304）,，腔體尺寸不小于為：?450x500mm,；真空室為前開門方式,，采用鉸鏈連接,，自動(dòng)鎖緊，并配有門到位開關(guān),，徹底杜絕誤操作,；真空腔室設(shè)置DN100觀察窗口，位置在真空腔體正前方,。

2. 真空系統(tǒng)：

2.1 極限真空度≤Pa（空載,、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮?dú)猓?/p>

2.2 真空配置。 前級(jí)泵為機(jī)械真空泵,，抽速優(yōu)于8L/S,，超高分子泵一臺(tái)，抽速1200L/S,。

2.3 真空測(cè)量：采用進(jìn)口全量程真空計(jì),，優(yōu)選德國萊寶與瑞士inficon。

3. 工件盤系統(tǒng)：配備工件盤一套,，可安裝4英寸基片1片,，選配高溫工件盤＜800℃。

4. 磁控濺射系統(tǒng)：配置三只2-4英寸濺射陰極,，三只靶均能兼容直流和射頻濺射,，并可單獨(dú)自由切換,，磁控靶安裝與真空室底部，向上濺射成膜,。

5.充氣系統(tǒng)：二路分別配置MFC質(zhì)量流量控制器,，均為0-100SCCM，準(zhǔn)確度±1%F.S,，線性±0.5%F.S,重復(fù)精度±0.2%F.S,。

5. 其他：配置斷水保護(hù)，配置冷水機(jī)組,，冷水機(jī)制冷量為5000Kcal,；設(shè)備配備小型靜音空壓機(jī)；保修期1年,，維修響應(yīng)時(shí)間不超過24小時(shí),。

6. 操作系統(tǒng)及安全監(jiān)控：采用人機(jī)界面+西門子PLC實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備集中自動(dòng)控制；所有控制系統(tǒng)和電氣安裝均與主機(jī)集成在一起,，避免控制柜與主機(jī)之間線路放在地上或從頂部引入帶來的問題,，模塊化設(shè)計(jì)能確保社保維護(hù)維修的便捷性。