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●本設(shè)備在成都光學(xué)鍍膜機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)達(dá)基礎(chǔ)上，在核心部件,、控制系統(tǒng)和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上吸收國(guó)際一流產(chǎn)品技術(shù)精髓,，開(kāi)發(fā)出surpass系列產(chǎn)品。本設(shè)備適用于高精密光通訊產(chǎn)品鍍制光學(xué)膜: 電學(xué)膜,、金屬膜,、激光膜、冷光膜,、分光膜,、增透膜、各種濾光片,、玻璃片及塑膠（樹(shù)脂）件上鍍制增透膜,、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，能夠根據(jù)客戶需求定制,。

●形式：φ650-3500mm,，箱式一體機(jī)，立式前開(kāi)門,，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式,，一體機(jī)系統(tǒng)。

●真空系統(tǒng)：極限真空8X10-5Pa,，主泵為復(fù)合分子泵低溫泵擴(kuò)散泵可選,。

●真空測(cè)量：配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，均采用安全防爆金屬測(cè)量規(guī),。

●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制,，轉(zhuǎn)速3～30rpm變頻可調(diào)，工件盤為球形和行星工件盤可選,。

●烘烤系統(tǒng)：不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊,，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃,，過(guò)沖不超過(guò)2℃,。

●電子束蒸發(fā)源：E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)（E型）1-2套，主體有屏蔽罩,，配置獨(dú)立高壓控制柜,。

●旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源：電動(dòng)轉(zhuǎn)位和點(diǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)位，配置無(wú)氧銅坩堝和石墨坩堝各一套,。

●電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源,。（選配）

●膜厚測(cè)試系統(tǒng)：配瑞士inficon石英膜厚在線測(cè)量系統(tǒng),， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭,。

●離子源輔助沉積系統(tǒng)：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)）,。