參考價(jià)格
100-150萬(wàn)元型號(hào)
CM-007品牌
超邁光電產(chǎn)地
四川成都樣本
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●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗,、輔助沉積和原位刻蝕進(jìn)行復(fù)合,,用于制備特種薄膜,薄膜具有均勻性,、附著力,、抗損傷,、低顆粒物污染等特點(diǎn),是半導(dǎo)體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備,,其技術(shù)長(zhǎng)期被美國(guó),、日本等國(guó)技術(shù)巨頭所壟斷,屬于國(guó)內(nèi)卡脖子裝備,,也是制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設(shè)備,,該設(shè)備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。
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