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日本JEOL軟X射線分析譜儀SXES

軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過(guò)組合新開(kāi)發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了極高的能量分辨率,。 和EDS一樣可以并行檢測(cè),，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析，超過(guò)了WDS的能量分辨率,。

產(chǎn)品規(guī)格：

· 產(chǎn)品規(guī)格

· 能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測(cè)試）

· 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV

· 獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV

· 分光譜儀艙安裝位置：

· EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側(cè)）

· FE-SEM的WDS接口（正面左后側(cè)）

· 分光譜儀尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

· * 從接口包括CCD的距離

· 分光譜儀重量　25kg

· 適用機(jī)型

· EPMA ： JXA-8530F,， JXA-8230， JXA-8500F,， JXA-8200

· SEM ： JSM-7800F,， JSM-7800 Prime， JSM-7100F

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過(guò)組合新開(kāi)發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī),，實(shí)現(xiàn)了極高的能量分辨率,。

和EDS一樣可以并行檢測(cè)，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析,，超過(guò)了WDS的能量分辨率,。

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· 系統(tǒng)簡(jiǎn)介

· **開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng)，不需移動(dòng)衍射光柵或檢測(cè)器（CCD）就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖,。而且由于能量分辨率很高,，還可以采集狀態(tài)分析分布圖

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· SXES、WDS,、EDS的比較

· 各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖

· 即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊,，需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示,，SXES具有很高的能量分辨率,。

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· 比較表

鋰離子二次電池（LIB）分析實(shí)例

· 能觀察到LIB的充電量

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· 充滿(mǎn)電后Li-K樣品的譜圖

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說(shuō)明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測(cè)很困難

· 輕元素的測(cè)試實(shí)例

· SXES測(cè)試碳素化合物的實(shí)例

· 可以測(cè)試金剛石,、石墨,、聚合物的不同。

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· 各種氮素化合物的測(cè)試實(shí)例

· 氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài),。 硝酸鹽和氮化物的波形完全不同,，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的獨(dú)特波形。

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