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JXA-8230 電子探針顯微分析儀
可以安裝通用性強(qiáng)、使用方便的能譜儀X射線(xiàn)探測(cè)器,，組合使用WDS和EDS,，能提供無(wú)縫,、舒適的分析環(huán)境,。
產(chǎn)品規(guī)格：
檢測(cè)元素范圍 | WDS：(Be)*1 /B～U,， EDS：B～U |
X射線(xiàn)檢測(cè)范圍 | WDS檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍: 0.087～9.3nm， EDS EDS檢測(cè)的能量范圍: 20keV |
分光譜儀數(shù)量 | WDS: 1～5道可選,、EDS: 1臺(tái) |
**樣品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm（H） |
加速電壓 | 0～30kV（以0.1 kV為步長(zhǎng)） |
束流電流范圍 | 10-12 ～ 10-5 A |
束流電流穩(wěn)定度 | 5%/h,， ±0.3%/12h（W） |
二次電子分辨率 | 6nm（W）， 5nm（LaB6）*2 （W.D. 11mm,， 30kV） |
掃描倍率 | ×40 ～ ×300,，000（W. D. 11mm） |
掃描圖像分辨率 | ** 5，120× 3,，840 |
彩色顯示器 | EPMA分析用: LCD 1,，280 × 1，024 SEM操作,、 EDS分析用: LCD 1,，280 × 1，024 |
光學(xué)顯微鏡 | |
分辨率 | ～1um |
焦深 | 1um |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵,、分子泵,、離子泵 *2 |
真空度 | 樣品室: 優(yōu)于8.0 x 10-4Pa， 電子槍: 優(yōu)于9.0 x 10-5Pa |
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 可以安裝通用性強(qiáng),、使用方便的能譜儀X射線(xiàn)探測(cè)器,，組合使用WDS和EDS，能提供無(wú)縫,、舒適的分析環(huán)境,。
· 日本電子新開(kāi)發(fā)出的EPMA （電子探針）秉承近半個(gè)世紀(jì)的EPMA的發(fā)展歷史，JXA-8230具備用戶(hù)友好的操作,、通過(guò)新式簡(jiǎn)單易用的PC 用戶(hù)界面提供完整范圍的高精度,、快速分析，這是JEOL長(zhǎng)年來(lái)對(duì)高可靠性硬件不斷改良的結(jié)果,。JXA-8230電子探針是下一代能完全滿(mǎn)足多種需求的強(qiáng)力分析工具之一,。
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· EPMA快速啟動(dòng)
· 點(diǎn)擊任何一點(diǎn)，就能開(kāi)始預(yù)設(shè)的EDS定性,、定量分析或WDS分析,。
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· 用戶(hù)菜單（User recipes）
· 能保存或調(diào)用經(jīng)常使用的各種不同類(lèi)型的樣品分析條件，菜單中包括了全部的電子光學(xué)參數(shù),、EDS和WDS參數(shù)在內(nèi),。
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· EDS 的性能
· 數(shù)字化脈沖處理器
· 全譜面分布(WD/ED， 樣品臺(tái)和電子束掃描)
· 無(wú)風(fēng)扇SDD (選配)
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