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日本JEOL聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)JIB-4000

JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置),。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,，就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨,，沉積碳和鎢等材料,。還可以為TEM成像制備薄膜樣品，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,，這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

• 產(chǎn)品規(guī)格

• FIB

· 主要附件

· 氣體注入系統(tǒng) (IB-02100GIS2)

· 碳沉積圓筒 (IB-52110CDC2)

· 鎢沉積圓筒(IB-52120WDC2)

· 白金沉積圓筒 (IB-52130WDC2)

· 側(cè)插式測角樣品臺 (IB-01040SEG)

· 束流探測器 (IB-04010PCD)

· 操作面板(IB-05010OP)

· 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng) (IB-01200SNS)

· FIB Tip-on(尖端上可以安裝附件的)樣品架(EM-02210)

· FIB 塊狀樣品用樣品架FIB (EM-02220)

· FIB 塊狀樣品用樣品架1(EM-02560FBSH1)

· FIB 塊狀樣品用樣品架2 (EM-02570FBSH2)

· FE-SEM 樣品架適配器 (EM-02580FSHA)

· 穿梭移動夾頭Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

· 原位樣品提取系統(tǒng) (EM-02230)

產(chǎn)品特點：

· JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,，就能對樣品表面進行SIM觀察 ,、研磨，沉積碳和鎢等材料,。還可以為TEM成像制備薄膜樣品,，為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,，SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,，這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

· 高性能FIB鏡筒

· JIB-4000采用高性能的FIB鏡筒,，**離子束流高達 60 nA,，能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨,，制備100 μｍ以上用來觀察的截面非常輕松,。

· 用戶友好的FIB裝置

· JIB-4000高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計,，建立了使用方便的FIB系統(tǒng),。即使不是FIB專家也能夠輕松操作，此外,，該裝置小巧緊湊為業(yè)界*小體積,，安裝地點的選擇范圍很大。

· 雙樣品臺

· JIB-4000標配的塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺可供塊狀樣品使用,，此外還可以增配側(cè)插式測角臺（TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入）,。塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺能觀察整個表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品，樣品交換可以通過氣鎖式系統(tǒng)快速進行,。側(cè)插式測角臺與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同,，因此Tip-on （尖端上可以安裝附件的）樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用，這樣,，F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進行,。

· 豐富的附件

· 有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng)，對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等,。通過給JIB-4000安裝適當?shù)母郊?，該系統(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。