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日本JEOL雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F

隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化,，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評(píng)估技術(shù)也對(duì)分辨率和精度有了更高的要求,。為了滿足這些需求,，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。 該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級(jí)混合圓錐形物鏡,、GB模式和in-lens檢測(cè)器系統(tǒng),，在1kV低加速電壓下，實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,，與**能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合,，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。

產(chǎn)品規(guī)格：

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 雙束加工觀察系統(tǒng) JIB-4700F能進(jìn)行高分辨觀察,、高速分析,、高速加工的FIB/SEM 裝置。

· 隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化,，形貌觀察,、元素分析和晶體分析等的評(píng)估技術(shù)也對(duì)分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求,，JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F,。 該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級(jí)混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測(cè)器系統(tǒng),，在1kV低加速電壓下,，實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率，與**能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合,，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析,。FIB鏡筒利用**探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束，對(duì)樣品進(jìn)行高速加工,。 利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統(tǒng))等各種分析裝置,，可以進(jìn)行高速分析。此外還標(biāo)配了三維分析功能,，能以固定的間隔自動(dòng)進(jìn)行截面加工并同時(shí)獲取截面的SEM圖像,。

· 高分辨率SEM觀察

· 通過采用電磁場(chǎng)疊加的圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測(cè)器,，在1kV低加速電壓下實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,。

· 高速分析

· 浸沒式肖特基電子槍與**光闌角控制鏡組合，大探針電流分析時(shí)也能保持高分辨率,。

· 高速加工

· FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,，對(duì)樣品進(jìn)行高速加工。

· 加強(qiáng)了檢測(cè)系統(tǒng)

· 利用新開發(fā)的同步檢測(cè)系統(tǒng)（包括in-lens檢測(cè)器）,，*多能實(shí)時(shí)觀察4個(gè)檢測(cè)器的圖像,。

· 擴(kuò)展性

· 可支持EDS、EBSD,、冷凍傳輸系統(tǒng),、冷凍樣品臺(tái)、空氣隔離傳輸系統(tǒng)（Air-isolation transfer vessel）等豐富的選配附件,。

· 三維觀察,、三維分析

· 高分辨率SEM和各種分析單元（選配項(xiàng)）組合，能對(duì)圖像和分析數(shù)據(jù)進(jìn)行三維觀察。

· 樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能

· 利用樣品提取系統(tǒng)（Sample Pick-up System,，選配項(xiàng)）和樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能,，能簡(jiǎn)單地提取TEM樣品。

· 圖像疊加（picture overlay ）系統(tǒng)

· 通過和附帶光學(xué)顯微鏡的樣品提取系統(tǒng)組合,，將光鏡圖像疊加在FIB圖像上,，能容易地定出FIB的加工位置。