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德國Neaspec太赫茲近場光學顯微鏡 THz-NeaSNOM-30nm

光學信號空間分辨率

太赫茲波段的納米分辨散射式近場光學顯微-譜儀系統(tǒng)：

neaspec公司推出的第三代散射式近場光學顯微鏡neaSNOM,，采用**的高階解調背景壓縮技術,，有效 提取散射近場信號，在獲得10nm空間分辨率的同時保持極高的信噪比,，是目前世界上**成熟的s-SNOM產 品,。同時其贗外差干涉式探測技術，能夠獲得對近場信號強度和相位的同步成像,。

由于**的全反射式光學聚焦和****的雙光路設計,，neaSNOM是目前世界上**一款可以應用于太 赫茲波段的近場光學顯微成像和譜儀系統(tǒng)。全新推出的THz-neaSNOM必將成為廣大太赫茲科研工作者手中的 神兵利器,。

對有機和無機材料同樣適用

,。封閉式外罩設計，減少氣流干擾,。

,。預先校準的近場光路，近一步提高穩(wěn)定性

,?？焖俪上瘢⒁?0nm空間分辨率鑒別納米材料

,。同步探測近場光學信號強度、相位并成像

,?？蓪螌邮鞍踪|有效測量的高敏感度

,。簡單明了的光路說明和光源選擇指示,，培訓、操作簡便

產品簡介：

太赫茲（THz）光源波長較大,，一般在300微米左右,。由于衍射極限的存在，THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右,。該THz光遠場測量結果的準確度經常無法滿足對材料科學研究,，尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究（例如半導體芯片中各個組成：源極，漏極,，柵極）的實驗,。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案,。

德國Neaspec公司與Fraunhofer IPM在Neaspec公司NeaSNOM近場光學顯微鏡的基礎上，已經成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達到30nm的實驗設備,。

THz-NeaSNOM主要技術參數(shù)與特點：

。優(yōu)于30nm的空間分辨率

,。常用THz光范圍：0.1-3THz

。**設計的寬波段拋面鏡

。THz研究可使用商業(yè)

散射型近場光學顯微鏡原理視頻介紹：

HNeaSNOM 30nm空間分辨率

**的背景信號壓制技術：

s-SNOM技術相對于傳統(tǒng)SNOM更難實現(xiàn)的主要瓶頸在于,，探測器通過自由光路接收散射信號時，其接收到 的光學信號中99%以上是懸臂,、樣品等區(qū)域散射的背景信號,，只有不到1%是來自于針尖與樣品之間的有效近 場信號。只有成功的將有效的近場信號提取出來,，才能獲得可靠穩(wěn)定的近場光學測量結果,。

neaSNOM通過其**的高階信號解調技術結合干涉式探測方式，實現(xiàn)了對背景信號的有效壓制,，獲得了對 散射近場信號高度可重復性,、高信噪比的可靠測量。

在原理上,，利用AFM探針的高頻振動,，遠場光學信息在快速傅里葉變換后僅可獲得一階信號；相對地,，近場光學信息可以獲得一至四階不同的信號,。通過探測器對高階信號的采集處理，從而實現(xiàn)從背景信號中對有效 近場信號的剝離,。

neaSNOM擁有**的heterodyne探測模塊,，可以利用參考鏡進一步對剝離的近場信號進行調制，從而實現(xiàn)了對其強度和相位的同時采集和成像,。

更廣的波長范圍和更高的分辨率

neaSNOM對晶體管的近場成像

與傳統(tǒng)SNOM技術受到分辨率極限的限制,，而只能使用可見光或近紅外光源不同，neaSNOM將可用光源拓展到中紅外和太赫茲波段,，并始終保持納米級分辨率,，這決定于neaSNOM的分辨率只與散射源尺寸( AFM 針尖曲率半徑）有關這一獨特技術特點。上圖為,，neaSNOM采用波長為10um的中紅外光源和118um的太赫 茲光源獲得的近場成像結果,，其太赫茲成像的分辨率達到40nm，約為激發(fā)波長的1/3000,，充分證明了 neaSNOM的高分辨能力,。

在中紅外和太赫茲波段的納米成像能力，使得neaSNOM具有對納米結構進行電學,，分子,、晶格振動等性質 的探測能力，近一步拓展了近場光學技術的應用范圍,，為更多學科提供了有利的表征手段,。

更大的應用拓展空間

得益于優(yōu)秀的雙光路設計,，neaSNOM在成像功能基礎上具有了更大的應用拓展空間。利用預留的第二套可 用光路,，neaSNOM可以實現(xiàn)對拉曼,、熒光、光誘導和超快等領域的研究,，部分研究成果已經發(fā)表在國際著 名期刊,。

專業(yè)的模塊化設計

neaSNOM散射型近場光學顯微鏡采用模塊化設計，將可見光,、近紅外,、中紅外照明探測單元，nano-FTIR ,，

透射模式等功能進行封閉模塊化設計,，進一步提高了整體光路的穩(wěn)定性，以及操作的簡便性,，便于使用者更 快掌握neaSNOM系統(tǒng)操作,，獲得高質量近場光學測結果。

用戶友好的軟件平臺

neaSNOM散射型近場光學顯微鏡的軟件平臺歷經數(shù)發(fā)整合,，已完全兼容于windows系統(tǒng)并有著優(yōu)秀的客戶體驗,。**的軟件系統(tǒng)用戶友好，操作簡單,，為防止使用人員的誤操作,，模塊化的設計體系保證了儀器更 高的安全性。