URE-2000A 型紫外單面光刻機
1．技術(shù)參數(shù)
,。曝光面積：150mmX150mm
。曝光波長：365nm
,。分辨力：0.8-1μm（膠厚 2 μm 的正膠）
,。對準精度：±0. 6μm
。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
,。掩模尺寸：3 英寸,、4 英寸,、5 英寸、7 英寸
,。樣片尺寸：直徑Ф15mm-- Ф150mm（各種不規(guī)則片）,，厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
。曝光方式：定時（計時方式倒計）,，0.1s-9999s
,。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光,、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
,。照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）5%（Ф150mm 范圍）
,。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準,，光學(xué)合像,，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍,、10 倍,、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍,、20 倍12
,。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
,。具備壓印模塊接口,，也具備接近模塊接口
。掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
,。膠厚：500μm(SU8 膠)
,。光源平行性：1.2°
。曝光能量密度：>18mW/cm2
,。冷卻方式：循環(huán)水+風冷
,。曝光面溫度：<30°C
。汞燈功率：1000W（直流,，進口
2．外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬)x1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
,。冷光橢球鏡
。1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,，長壽命型)
,。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風扇
,。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄,、可變光欄,、快門、準直鏡鏡 1,、準直鏡鏡 2,、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片,、場鏡1,、場鏡 2、冷光反射鏡 1,、反射鏡 2
,。循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對準工件臺
。掩模樣片整體運動臺
,。掩模樣片相對運動臺
,。轉(zhuǎn)動臺
。樣片調(diào)平機構(gòu),，自動完成
,。樣片調(diào)焦機構(gòu)，自動調(diào)
,。承片臺 4 個（2 英寸,、3 英寸、4 英寸,、6 英寸）
,。掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸,、5 英寸,、7 英寸）
?；槔缴舷缕瑱C構(gòu)
（3）對準顯微鏡
,。光源（配備品 2 只）、電源
,。雙目雙視場對準顯微鏡主體13
,。目鏡 3 對（10 倍、16 倍,、20 倍,，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍,、10 倍,、20 倍，共 6 個）
（4）CCD 對準系統(tǒng)(選配)
。光源（配備品 3 只）,、電源
,。成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）
。數(shù)據(jù)采集卡
,。三維工件臺（兩套）
,。CCD（2 只）
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
,。單片機控制系統(tǒng)
,。控制柜桌
,。計算機系統(tǒng)及液晶顯示器
（6）氣動系統(tǒng)
,。氣缸、電磁閥,、減壓閥,、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
,。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
,?？諌簷C一臺（靜音泵）
。管道
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