日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

DS-2000/14K 無掩膜單面光刻機

1．技術(shù)特征

,。采用 DMD 作為數(shù)字掩模,，像素數(shù) 1024×768

。采用 14 倍縮小投影光刻物鏡成像,。

,。采用**技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。

,。具備對準功能

,。采用進口精密光柵、進口電機,、進口導(dǎo)軌,、進口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接,，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片。

,。采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平,、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。

2．技術(shù)參數(shù)

,。光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外LED,；

。照明不均勻性：2%,；

,。物鏡倍率：14 倍

。曝光場面積：1mm×0.75mm

,。光刻分辨力：1 μm

,。工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm,；

,。工件臺運動定位精度：±0.65μm；

,。調(diào)焦臺運動靈敏度：1μm,；

。對準精度：±2μm,；

,。調(diào)焦臺運動行程：6mm

。檢焦：CCD 檢測,，檢測精度 2 微米

,。轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上

?；叽?/p>

,。外徑: 。1mm—100mm,，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統(tǒng)

,。350W 直流汞燈（或 LED）、橢球鏡,、準直鏡,、蠅眼透鏡組、場鏡組,、365nm 濾光片,、氣動快門、DMD（美國德州儀器）、冷卻風(fēng)扇,。

,。投影物鏡：縮小倍率 14 倍

。分辨力 1μm

（2）工件臺系統(tǒng)

,。X 臺：電機驅(qū)動器（日本樂孜）,、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）,、光柵（美國）

,。Y 臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）,、絲杠（日本 NSK）,、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵 2（美國）

,。轉(zhuǎn)動臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）,，轉(zhuǎn)動軸系

。Z 臺：電機及驅(qū)動器（日本樂孜）,、絲杠,、上升導(dǎo)向機構(gòu)

。承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸,、2 英寸,、1 英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)

。焦面光學(xué)檢測系統(tǒng),、CCD,、焦面檢測軟件

（4）對準系統(tǒng)

。對準光學(xué)檢測系統(tǒng),、CCD,、對準軟件

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈電源及觸發(fā)器,、主機控制系統(tǒng),、軟件、計算機,、監(jiān)視器（19 英寸液晶）,、接口

（6）氣動系統(tǒng)

。電磁閥,、旋轉(zhuǎn)氣缸,、減壓閥、壓力表,、真空表

（7）其他附件

,。真空泵一臺(無油泵)

。空壓機一臺（靜音泵）

,。管道