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DS-2000/14K 無掩膜單面光刻機(jī)

1．技術(shù)特征

,。采用 DMD 作為數(shù)字掩模，像素數(shù) 1024×768

,。采用 14 倍縮小投影光刻物鏡成像,。

。采用**技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明,。

,。具備對準(zhǔn)功能

。采用進(jìn)口精密光柵,、進(jìn)口電機(jī),、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接,，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片,。

。采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平,、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光,。

2．技術(shù)參數(shù)

。光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外LED,；

,。照明不均勻性：2%；

,。物鏡倍率：14 倍

,。曝光場面積：1mm×0.75mm

。光刻分辨力：1 μm

,。工件臺運(yùn)動范圍：X：100mm,、 Y：100mm；

,。工件臺運(yùn)動定位精度：±0.65μm,；

。調(diào)焦臺運(yùn)動靈敏度：1μm,；

,。對準(zhǔn)精度：±2μm；

,。調(diào)焦臺運(yùn)動行程：6mm

,。檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米

。轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上

,?；叽?/p>

。外徑: ,。1mm—100mm,，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統(tǒng)

。350W 直流汞燈（或 LED）,、橢球鏡,、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組,、場鏡組,、365nm 濾光片、氣動快門,、DMD（美國德州儀器）,、冷卻風(fēng)扇。

,。投影物鏡：縮小倍率 14 倍

,。分辨力 1μm

（2）工件臺系統(tǒng)

。X 臺：電機(jī)驅(qū)動器（日本樂孜）,、絲杠（日本 NSK）,、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵（美國）

,。Y 臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜）,、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）,、光柵 2（美國）

。轉(zhuǎn)動臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜）,，轉(zhuǎn)動軸系

,。Z 臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠,、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

,。承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸,、1 英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)

,。焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD,、焦面檢測軟件

（4）對準(zhǔn)系統(tǒng)

,。對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、對準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)

,。汞燈電源及觸發(fā)器,、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件,、計算機(jī),、監(jiān)視器（19 英寸液晶）、接口

（6）氣動系統(tǒng)

,。電磁閥,、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥,、壓力表,、真空表

（7）其他附件

。真空泵一臺(無油泵)

,?？諌簷C(jī)一臺（靜音泵）

。管道