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應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備,，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠,，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng),。

在線面掃和單點(diǎn)檢測

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測線,。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描,。

樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測,，每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒,。

電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是*常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品,。

還有許多其他的專門應(yīng)用可能性,。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源,。

產(chǎn)品介紹

l 各種不同的樣品,，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片,，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測,。

l MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測線,。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描,。

l 樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測,，每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒,。

該儀器有許多專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成,，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可,。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其*常用的一種應(yīng)用方向,，同樣,，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

優(yōu)勢

l 在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn),。

l 用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,，包括材料制備，和各種工藝處理階段,。

小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易,。優(yōu)勢是長時(shí)間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。

技術(shù)參數(shù)