看了MDPinline高速晶圓片在線面檢測儀-一秒內完成晶的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀,。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,,在不到一秒的時間內,就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖,。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,,極大提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟,。
產品優(yōu)勢▼
在非常短的時間內獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產,。
適用于測量晶圓片的材料質量,以及識別晶圓片層面的結晶問題,,例如在光伏行業(yè),。
適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制,。
Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon
Microcrystalline inclusions
Investigation of passivation quality...
Cz-Si with bulk defects,, separation...
樣品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
樣品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間,或 4”到18” |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
傳導類型 | p,, n |
材質 | 硅晶圓,,部分或完全加工的晶圓片,化合物半導體等 |
測量性能 | 少數(shù)載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的) |
測量位置 | 默認2.8 mm,, 其它可選 |
檢測時間 | 獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm,,重量:29 kg |
電源 | 24 V DC, 4 A |
暫無數(shù)據(jù),!