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弗萊貝格的MDPpro（晶圓片/晶錠壽命檢測儀）系列主要用于測量少子壽命,、光電導率,、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設計完全符合SEMI標準PV9-1110,。這也使得該儀器在晶圓切割,、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領域被廣泛應用,?？梢哉f,，MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術生產(chǎn)商的標準儀器,。

特性&優(yōu)勢▼

u 無接觸和無破壞的半導體檢測,；

u 特殊“underneath the surface”壽命測量技術；

u 對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度,；

u 自動設置硅錠切割標準,；

u 空間分辨p/n電導型變換檢測,；

u 多項數(shù)據(jù)同時自動檢測掃描,，5幅測量圖形同時繪制；

u 堅固耐用的設計和易于設置的性能,。安裝,，僅需要電源。

應用實例▼

1.日常壽命測量,，質(zhì)量控制和檢驗

高產(chǎn)量：>240塊/天或>720片/天

測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠,，<4分鐘

良品率提升：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠

質(zhì)量控制：用于過程和材料的質(zhì)量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅

沾污檢測：起源于坩堝和生產(chǎn)設備的金屬(Fe)

可靠性：模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器,，更高可靠性，運行時間> 99%

可重復性:> 99.5%

電阻率：可做面掃描,，不需經(jīng)常校準

2. 精密材料研發(fā)

a.鐵濃度測定

b.陷阱濃度測定

c.硼氧測定

d.依賴于注入的測量等