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u 全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀,，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方向。配備可容納長達(dá)450毫米和30公斤的樣品及樣品架,；
u 自動(dòng)化測量,，并通過定制軟件進(jìn)行訪問,。利用Omega掃描,，可在晶體旋轉(zhuǎn)(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,，但每次掃描只產(chǎn)生一個(gè)方向分量,；
u 精確地確定傾斜角度，Theta掃描精度達(dá)到0.001°,；
u 模塊化系統(tǒng),，并配備了多功能需求擴(kuò)展。
行業(yè)應(yīng)用▼
具有多種幾何形狀和大小的樣品
根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同,，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀,。Omega/Theta X射線衍射儀可以處理大塊鋼錠或鋼球和實(shí)驗(yàn)合成的微小晶體。
非線性光學(xué)材料(NLO)：晶體質(zhì)量和定向
與典型的無機(jī)金屬,、半導(dǎo)體和絕緣體相比,，NLO材料具有更復(fù)雜的晶體結(jié)構(gòu)和更低的對稱性。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒,，而對這種小晶體的表面質(zhì)量測定常?？梢越沂揪w內(nèi)部的結(jié)構(gòu)缺陷和裂紋。通過對Omega/Theta的設(shè)計(jì)進(jìn)行的一些特殊的修改,，我們的定向儀能夠確定許多NLO材料,，如LBO， BBO和TeO2的的晶向,。
平面方向的標(biāo)記和測量
Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位,。因此，平面方向可以直接識別,。這是一個(gè)有用的功能,，以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口,。
搖擺曲線：晶體表面評價(jià)
搖擺曲線測量對晶格內(nèi)的缺陷和應(yīng)變場很敏感。將這種技術(shù)與映射階段相結(jié)合,，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域,。通過裝備一個(gè)具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀，可以直接測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射,。
如下圖顯示的結(jié)果,，這種映射的碳化硅晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關(guān),。
暫無數(shù)據(jù),！
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