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全自動石英晶圓分析儀石英晶體X射線衍射儀
全自動石英晶圓分析儀石英晶體X射線衍射儀

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德國

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束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司

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德國弗萊貝格儀器Quatrz XRD——石英晶體X射線衍射儀主要應(yīng)用于對石英棒、硅片和坯料進(jìn)行生產(chǎn)質(zhì)量控制,。而根據(jù)樣品對象的不同,,Quatrz XRD可以分為Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD,,即全自動石英棒定向儀,、全自動石英晶圓盤分析儀和全自動石英晶片分選儀三種型號。

全自動石英棒定向儀▼

樣品:石英棒

特點(diǎn)

完全自動化的吸收和校準(zhǔn)石英棒

自動上膠轉(zhuǎn)接器板

校準(zhǔn)精度:±0.5°(AT & TF)

全自動石英晶圓片分析儀▼

樣品:

圓形,,長方形和正方形

4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工處理樣本)

20 x 20毫米至80 x 80毫米(自動樣本處理)

特點(diǎn)

空間質(zhì)量檢查的映射圖選項

模塊化設(shè)計,,支持未來的自動化升級

用于輸入/輸出的標(biāo)準(zhǔn)樣品盒:盒式或疊式

可用排序函數(shù)

產(chǎn)量:在標(biāo)準(zhǔn)分選精度下,可高達(dá)350片/小時

全自動石英晶片分選儀▼

樣品:

圓形,,長方形和正方形

4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工處理樣本)

1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自動化選項一)

4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自動化選項二)

特點(diǎn):

質(zhì)量分組:±7.5 arcsec

吞吐量:在標(biāo)準(zhǔn)分揀精度下,,每小時可處理高達(dá)1000個晶片

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