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桌面單點(diǎn)測(cè)量▼

低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征,。沒(méi)有內(nèi)置自動(dòng)化,。可選配手動(dòng)z軸,，用于厚度在156毫米以下的晶錠,。

MDPspot可配電阻率測(cè)試選項(xiàng)，常規(guī)僅適用于硅,，也可用于沒(méi)有高度調(diào)整可能性的晶圓片以及晶錠,，不過(guò)需對(duì)這兩個(gè)選項(xiàng)之一進(jìn)行預(yù)定義。

MDPspot配備結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件,。

設(shè)備特性▼

l 無(wú)接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試

l 對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見(jiàn)缺陷檢測(cè),，具有可視化測(cè)試的較高分辨率

l 對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)▼

l 用于不同制備階段,，從成體到*終器件,，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。

l 體積小,，成本低,，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件,，結(jié)果可視化,。

l 適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整,。

技術(shù)參數(shù)▼