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單晶硅片少子壽命測試儀-MDPspot臺式單點壽命檢測儀
單晶硅片少子壽命測試儀-MDPspot臺式單點壽命檢測儀

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德國

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束蘊儀器(上海)有限公司

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桌面單點測量▼

低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng),,對不同制備階段的硅材料電學參數(shù)進行表征,。沒有內置自動化??蛇x配手動z軸,,用于厚度在156毫米以下的晶錠。

MDPspot可配電阻率測試選項,,常規(guī)僅適用于硅,,也可用于沒有高度調整可能性的晶圓片以及晶錠,不過需對這兩個選項之一進行預定義,。

MDPspot配備結果可視化的標準軟件,。

設備特性▼

l 無接觸和非破壞的電學參數(shù)測試

l 對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的較高分辨率

l 對于不同級別晶圓片,,提供不同的菜單選項

產品優(yōu)勢▼

l 用于不同制備階段,,從成體到*終器件,多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置,。

l 體積小,,成本低,,使用方便。擁有一個基本的軟件,,結果可視化,。

l 適用于晶圓片到晶錠,易于高度調整,。

技術參數(shù)▼

樣品

不同工藝處理樣品,,如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠,、電池等

樣品尺寸

50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

材質

硅晶圓,,晶錠,部分或全部加工晶圓,,化合物半導體和其它類型

少子壽命檢測范圍

20ns到幾十ms

尺寸

360 x 360 x 520 mm,,質量:16 kg

電源

110/220 V, 50/60 Hz,, 3 A

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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單晶硅片少子壽命測試儀-MDPspot臺式單點壽命檢測儀信息由束蘊儀器(上海)有限公司為您提供,,如您想了解更多關于單晶硅片少子壽命測試儀-MDPspot臺式單點壽命檢測儀報價,、型號、參數(shù)等信息,,歡迎來電或留言咨詢,。
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