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l 可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于極端環(huán)境(研磨,、鋸切)
l 緊湊、標準的工業(yè)接口
l 獨立定位測量,，可測量平面或圓周
l 光學等級檢測
l 解決了行業(yè)難題:
① 如果加工設備和定向測量是分開的,，那么就會因為樣品轉移而造成定向誤差
② 市場對于精確對齊的晶圓的需求量越來越大
l 將測量過程整合到工業(yè)生產中（研磨或鋸切）
技術參數(shù)▼
l 可測量材料：硅，碳化硅,，砷化鎵及更多
l 樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米
l 冷卻：空氣,，低噪音
l 可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進行預對準
硅錠取向:
磨削前對平面和缺口位置的檢測
樣品直徑可達8 "，長度可達40厘米
無需移動樣本即可進行定向,，可與打磨產線相結合直接進行在線檢測
可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上
暫無數(shù)據(jù),！
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