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l 可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)且適用于極端環(huán)境(研磨,、鋸切)
l 緊湊,、標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)接口
l 獨(dú)立定位測量,,可測量平面或圓周
l 光學(xué)等級檢測
l 解決了行業(yè)難題:
① 如果加工設(shè)備和定向測量是分開的,那么就會因為樣品轉(zhuǎn)移而造成定向誤差
② 市場對于精確對齊的晶圓的需求量越來越大
l 將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中(研磨或鋸切)
技術(shù)參數(shù)▼
l 可測量材料:硅,,碳化硅,,砷化鎵及更多
l 樣品尺寸:鋼錠直徑450毫米
l 冷卻:空氣,低噪音
l 可能的用途:在鋸/磨/平/缺口檢測前對大型晶錠進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)
硅錠取向:
磨削前對平面和缺口位置的檢測
樣品直徑可達(dá)8 ",,長度可達(dá)40厘米
無需移動樣本即可進(jìn)行定向,,可與打磨產(chǎn)線相結(jié)合直接進(jìn)行在線檢測
可以直接集成到基礎(chǔ)機(jī)圓磨床72/856上
暫無數(shù)據(jù)!