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l 各種不同的樣品,，從單晶硅到多晶硅,，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測,。
l MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描,。
l 樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送,。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,，每個晶圓的測量速度小于一秒。
l 該儀器有許多專門應用可能性,。由于其易于集成,，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如,，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其*常用的一種應用方向,，同樣，鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品,。
特性▼
l 允許單片調(diào)查
l 配方的基礎測量
l 監(jiān)控材料質(zhì)量,、工藝的完整性和穩(wěn)定性
優(yōu)勢▼
l 在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
l 用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,，包括材料制備,，和各種工藝處理階段。
l 小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易,。優(yōu)勢是長時間的可靠性和測量結果的高精度,。
樣品種類 | 多晶或單晶晶元片， 晶錠,，晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
電導類型 | p,， n |
材質(zhì) | 硅晶圓，部分或完全加工晶圓,，化合物半導體等 |
測量屬性 | 載流子的少子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm,， 重量: 3 kg |
電源 | 24 V DC， 2 A |
暫無數(shù)據(jù),！
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