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儀器簡介:
Cascade Microtech 的 EPS系列測量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡單,、高精確度、多功能,、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái),,解決了一系列的測量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì),,提供了眾多的配置可能性,,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊,、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要,。您可以通過確定*適合自己當(dāng)前需要的 EPS模塊來設(shè)計(jì)特有的探針臺(tái),或?qū)ψ约含F(xiàn)有的 EPS進(jìn)行升級(jí)以滿足未來的測量需求,。
優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC),、失效分析(FA),、亞微米探測、MEMS和光學(xué)工程測量,;EPS也能用作一個(gè)靈活的探頭卡,,實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用(WLR),能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座,。
技術(shù)參數(shù):
基座 基本尺寸 Z軸可移動(dòng)范圍
標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 490mm x 490mm×480mm 10mm
X-Y-θ平臺(tái) XY范圍 *小步長 θ范圍 晶圓范圍
EP6標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸
主要特點(diǎn):
1. 結(jié)構(gòu)簡單,、多功能;
2. 平臺(tái)配置可滿足DC,、RF測量,;
3. 獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí),;
4. 量程大、可配暗箱,、CCD等配件,;
擴(kuò)展功能:
1、射頻頭部,;
2,、探針卡端口;(出廠前配置)
3,、光電屏蔽箱,;
4、CCD視頻系統(tǒng),;
5,、溫控模塊;(常溫-300℃可選)
6,、EPS_FA可配置激光等,。
暫無數(shù)據(jù)!